中国科学院光电技术研究所

安捷伦可见分光光度计

激光薄膜弱吸收测量仪器

光学薄膜应力测量仪器

光学元件表面缺陷检测仪器

可见与红外分度光度计

原子力显微镜

1.3米国产镀膜机用于镀制常规薄膜.

1.1米SPECTOR镀膜机，主要用于镀制强激光薄膜。

1.9米德国莱宝镀膜机主要用于镀制大口径ICF激光薄膜。