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• 国家863计划项目波前校正分课题
• 大口径自适应关键技术一激光薄膜镀制研究课题
• 国家863计划802课题等。

自适应光学国家重点实验室激光薄膜研究团队主要研究方向：

• 变形镜高反射率激光薄膜研究
• 变形镜 激光薄膜缺陷研究
• 变形镜 激光薄膜应力研究
• 变形镜 激光薄膜测量研究
• 变形镜 激光薄膜与激光作用研究

自适应光学国家重点实验室激光薄膜研究团队正式职工有6人，包含2个本科，2博士，2博士在读，有副研究员2名。

自适应光学国家重点实验室激光薄膜研究团队主要从事自适应光学变形镜激光薄膜研究，自适应光学重点解决激光通过大气的干扰问题，变形镜是自适应光学系统的重要元件，研究团队主要研究变形镜镜面的激光薄膜与激光相互作用的物理过程，包括激光加热与烧蚀过程，理论与工程相结合，主要解决工程的问题，用理论来指导工程，我们的研究课题主要来自是国家重大项目，像国家核聚变ICF，固体激光器系统等，我们重点关注强激光光学薄膜，镀制出高功率，高强度，高反射，低吸收的强激光薄膜。

中科院光电所自适应光学研究室，近年来，研制、引进了一批先进 的镀膜设备、分光光度计等实验仪器，在自适应光学实验大楼的镀膜实验室拥有充足的研 究和实验场地，包括万级超静镀膜实验室，工作环境和实验条件非常优越， 自适应光学研究室有雄厚的技术基础和实验条件，拥有价值3000万左右的真空镀膜机 与光学薄膜测试仪器，包括德国莱宝SYRUSpro1910型箱式镀膜机一台、NEWSPECTOR 型离子柬溅射镀膜机两台与国产镀膜机多台，用于测量薄膜样品的反射率、透过率与吸收仪器多台，用于薄膜表面缺陷检测原子力显微镜一台，用于薄膜应力测 量仪KSAMOSUltra-scan一台，另外拥有Zego干涉仪与Ygo干涉仪等。

中科院光电所自适应光学研究室长期从事自适应光学技术研究，开展 了自适应光学原理、关键单元和系统技术研究，先后研制成多套自适应光学实验系统，包 括激光核聚变ICF装置与863计划激光大气传输等领域中的自适应光学系统等，在这些自 适应光学系统中，各种不同型号的变形镜中远红外激光薄膜均由研究团队完成，并且在各种形式、各种波长的弱光及强光波前校正器薄膜镀制等激光薄膜研究与 制备技术方面面具有国际先进、国内领先的技术水平。

研究团队均长期专业从事自适应光学技术中变形镜激光薄膜的理 论研究和实验研究，对各种变形镜激光薄膜技术以及自适应光学系统的工作原理等非常了解，先后参与研制多套变形镜激光薄膜镀膜任务。在变形境外激光薄膜的镀制技方而进行 过专门的研究，有多篇学术论文在国内外期刊和学术会议上发表。 团队已经具备多年的红外高能、高功率激光高反膜的研究经验，对红外激光系 统变形镜薄膜应力已经做了大量的理论与测量工作，并且可以熟练地利用有限元软件建立 多层次的应力模型，计算与分析应力在母层膜与基底上的分配情况下对红外薄膜缺陷成因 以及如何减小薄膜缺陷等进行了测量与分析，主要研究不同蒸发方式与膜料蒸发速度对薄 膜缺陷的影响对不同基底粗糙度对激光薄膜损耗的影响规律有一定的研究基础，还开展 了不同沉积方式与薄膜反射率的关系研究，并成功采用离子束派射方式制备了反射率大于99.99%激光薄膜。